Uniscan M470電化學工作站是由Uniscan儀器開發(fā)的第四代掃描探針系統(tǒng)，具有更高規(guī)格和更多探針技術。
Uniscan M470電化學工作站產品特征：
1、SECM自動處理曲線；
2、SECM用戶自定義處理曲線步長變化；
3、高分辨率讀取；
4、手動或自動調節(jié)相位。
Uniscan M470電化學工作站同時具備如下特點：
1、傾斜校正；
2、X或Y曲線相減（5階多項式）；
3、2D或3D快速傅里葉變化；
4、實驗，探針移動和區(qū)域繪圖的自動排序；
5、圖形實驗測序引擎（GESE）；
6、支持多區(qū)域掃描；
7、所有實驗多個數(shù)據(jù)視圖；
8、峰值分析。
Uniscan M470電化學工作站技術參數(shù)：
工作站（所有技術）
掃描范圍（x,y,z）：大于100mm
掃描驅動分辨率：最高0.1nm
閉環(huán)定位：線性零滯后編碼器，直接實時讀出x,z和y位移
軸分辨率（x,y,z）：20nm
最大掃描速度：12.5mm/s
測量分辨率：32-bit解碼器@高達40MHz
壓電（ic-和ac-掃描探針技術）
振動范圍：20nm~ 2μm峰與峰之間1nm增量
最小振動分辨率：0.12nm(16-bit DAC,4μm)
壓電晶體伸展：100μm
定位分辨率：0.09nm(20-bit DAC ,100μm)
機電
掃描前端：500×420×675mm(H×W×D)
掃描控制單元：275×450×400mm(H×W×D)。
